潔凈車間在運行過程中需要嚴格控制車間內(nèi)的溫度和濕度，來保證正常運作和員工舒適，具體應(yīng)該怎么控制？潔凈車間里又為什么會有靜壓差？下面中凈環(huán)境詳細為大家介紹。

怎么控制潔凈車間的溫度和濕度？

1.凈化室的溫度濕度關(guān)鍵依據(jù)加工工藝規(guī)定明確，但在考慮加工工藝規(guī)定的標準下，要考慮到人的舒適度。隨之氣體潔凈度規(guī)定的提升，對溫度和濕度的規(guī)定愈來愈嚴苛。

2.潔凈工程溫度的實際規(guī)定將在后邊列舉，但做為通常標準，隨之生產(chǎn)加工精密度的提升，對溫度起伏范疇的規(guī)定會愈來愈小。比如，在規(guī)模性集成電路芯片造成的光刻曝出全過程中，夾層玻璃與硅片做為掩模原材料的線膨脹系數(shù)差規(guī)定愈來愈小。直徑100um的硅片，溫度升高1度，就造成了0.24um線形澎漲，因此務(wù)必有±0.1度的控溫，另外規(guī)定濕度值較低，由于人流汗之后，對商品將會有環(huán)境污染，非常是鈉的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)車間，這類生產(chǎn)車間不可超出25度。

3.高濕度會造成大量的難題。當空氣濕度超出55%時，冷卻循環(huán)水壁厚曝露。假如它產(chǎn)生在高精密機器設(shè)備或電源電路中，就會造成各種各樣安全事故。空氣濕度通常在50%銹蝕。除此之外，當濕度很高時，粘附在硅片表層的塵土會被氣體中的氧分子有機化學地粘附在表層，它是沒辦法除去的。空氣濕度、粘結(jié)性越高，則越難除去，但當空氣濕度小于30%時，又因為靜電感應(yīng)顆粒物對表層吸咐的危害，還非常容易對很多集成電路工藝造成熱擊穿。硅片生產(chǎn)制造的最好溫度范疇是35 - 45%。

潔凈車間為什么有靜壓差？

1.在凈化室基本設(shè)計方案中，新風系統(tǒng)和送風模式所有是由氣體處理單元（AHU）送出去的。在不動新風系統(tǒng)和排風系統(tǒng)的狀況下，撇開耗損沒去考慮到，因為管路是密閉式的，基礎(chǔ)理論上講，AHU送出去的排風量與回家的排風量是相同，換句話，凈化室容積內(nèi)的總排風量是不會改變的，風力越大，只意味著換風增加、流動性加速了罷了。在風口尺寸明確的狀況下，排風量是與風力是正比的，這時候能夠把風力了解成風量的定性分析值，但因為你出的快，我回的也快，因而，相對性屋子以外的地區(qū)還是均衡的，不是流動性的，因而也就沒有壓差存有。

2.倘若在所述基本上，人們提升了新風系統(tǒng)，這時候人們馬上發(fā)覺，先前的均衡被擺脫了。由于要與新風系統(tǒng)混和，因此回排風量就沒有以前的多了，但正壓送風口的排風量卻沒有轉(zhuǎn)變。這種多出去的排風量因為沒法從送風口所有回來，務(wù)必要向其他地區(qū)外擴散，那樣就造成了該屋子對其他地區(qū)的正工作壓力。因此，在實質(zhì)上工作壓力來自排風量的轉(zhuǎn)變，而并不是風力或換風。

3.假如在所述送風模式和新風系統(tǒng)添加的基本上，又提升了排風系統(tǒng)。這時候人們就會發(fā)覺，當風量低于排風量的那時候，屋子相對性其他地區(qū)是正壓力的，相反，則是空氣壓力。

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