[導(dǎo)讀:]現(xiàn)在很多產(chǎn)品或者行業(yè)都會有自己的英文名稱,為了提高辨識及分辨度,它們都會作出一個首字母的簡稱來作為稱呼,比如其中的FAB無塵室,這是啥意思?
現(xiàn)在很多產(chǎn)品或者行業(yè)都會有自己的英文名稱,為了提高辨識及分辨度,它們都會作出一個首字母的簡稱來作為稱呼,比如其中的FAB無塵室,這是啥意思?下面中凈為大家解答。
FAB無塵室是芯片生產(chǎn)加工的凈化車間的一般稱呼。tsmc、中芯國際的生產(chǎn)線都叫fab。凈化車間不一樣等級氣體潔凈度等級的空氣過濾網(wǎng)的采用、布局關(guān)鍵點(diǎn):針對300000級空氣過濾解決,可選用亞高效送風(fēng)口替代高效送風(fēng)口;氣體潔凈度等級100級、10000級及100000級的空氣過濾解決,應(yīng)選用初、中、高效送風(fēng)口三級過濾裝置。
FAB半導(dǎo)體材料芯片無塵室工作環(huán)境的規(guī)定:因?yàn)殡娮釉O(shè)備在生產(chǎn)制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣質(zhì)量自然環(huán)境和質(zhì)量的規(guī)定極其嚴(yán)苛,關(guān)鍵以操縱粒子和塵土為關(guān)鍵目標(biāo),與此同時還對其自然環(huán)境的溫度濕度、清新空氣量、噪音等做出了嚴(yán)苛的要求。1、房間內(nèi)的噪音級(空態(tài)):不可超過65dB(A)。2、豎直流凈化室布滿比不可低于60%,水準(zhǔn)單邊流凈化室不可低于40%,不然便是部分單邊流了。3、與戶外的負(fù)壓差不可低于10Pa,不一樣氣體潔凈度等級的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)中間的負(fù)壓差不可低于5Pa。4、清潔房間內(nèi)的清新空氣量應(yīng)選以下二項(xiàng)中的最高值:5、賠償房間內(nèi)風(fēng)量和維持房間內(nèi)正壓力值所需的清新空氣量之和。6、保證供給清潔房間內(nèi)每個人每鐘頭的清新空氣量不小于40m3。7、空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件電加熱器,應(yīng)設(shè)定新風(fēng)系統(tǒng),過熱關(guān)閉電源維護(hù),若選用點(diǎn)增濕時要設(shè)定沒有水維護(hù),嚴(yán)寒地域,家用新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)定防寒保障措施。無塵室的送排風(fēng)量。
半導(dǎo)體材料(FAB)凈化室中空氣濕度的目標(biāo)大概操縱在30至50%的范疇內(nèi),容許偏差在±1%的狹小的范疇內(nèi),比如光刻技術(shù)區(qū)──或是在遠(yuǎn)紫外光解決(DUV)區(qū)乃至更小──而在別的地區(qū)則能夠釋放壓力到±5%的范疇內(nèi)。
以上就是中凈環(huán)境 為大家介紹的“FAB無塵室”,希望能對您有所幫助。它只是一個英文單詞的縮寫,簡稱FAB,含義就是芯片加工的車間,對于行業(yè)來說非常重要。
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